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Vergebene Aufträge für Videogeräte, LCD-Projektoren

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Auftragsvergabe Lieferung, Installation und Inbetriebnahmeeiner ICPECVD-Anlage
Los: Zur Abscheidung dünner dielektrischer Schichten soll im Rahmen eines BMBF-Projekts eine moderne und flexible Beschichtungsanlage beschafft werden zur Herstellung von SiNx- und SiOy- Dielektrika. Mittelpunkt der Beschaffung ist eine Plasma CVD Anlage mit dem Ziel, qualitativ hochwertige SiNx Dielektrika mit Durchbruchfeldstärken von > 8 MV/cm abzuscheiden. (entspricht ca. 80 V Durchbruchspannung bei einer Dielektrikumsdicke von 100 nm).
Ort: 12489 Berlin
Tag der Zuschlagsentscheidung: 17.06.2019

Projektbeschreibung: Zur Abscheidung dünner dielektrischer Schichten soll im Rahmen eines BMBF-Projekts eine moderne und flexible Beschichtungsanlage beschafft werden zur Herstellung von SiNx- und SiOy- Dielektrika. Mittelpunkt der Beschaffung ist eine Plasma CVD Anlage mit dem Ziel, qualitativ hochwertige SiNx Dielektrika mit Durchbruchfeldstärken von > 8 MV/cm abzuscheiden. (entspricht ca. 80 V Durchbruchspannung bei einer Dielektrikumsdicke von 100 nm).Siehe Leistungsbeschreibung unter dem link: ...

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