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Ausschreibung   Ausschreibung Region Frankfurt(Oder), Eisenhüttenstadt, Fürstenwalde/Spree, Königs Wusterhausen für Laborgeräte

Ausschreibung Los-ID 1682615

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Micro-Transfer-Printer
Micro-Transfer-Printer

II.1.4)

Kurze Beschreibung:

— Los 1: Evaluierung eines Transferprozesses mit einem Micro-Transfer-Printer,

— Los 2: Lieferung eines Micro-Transfer-Printers.

II.1.5)

Geschätzter Gesamtwert

II.1.6)

Angaben zu den Losen

Aufteilung des Auftrags in Lose: nein

II.2)

Beschreibung

II.2.1)

Bezeichnung des Auftrags:

II.2.2)

Weitere(r) CPV-Code(s)

II.2.3)

Erfüllungsort

NUTS-Code:

DE403

Hauptort der Ausführung:

IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik

Im Technologiepark 25

15236 Frankfurt (Oder)

II.2.4)

Beschreibung der Beschaffung:

Los 1: Evaluierung eines Transferprozesses mit einem Micro-Transfer-Printer:

Demonstration eines Transferprozesses bei dem InP-Membranen mit einem manuellen Micro-Transfer-Printer auf einen Wafer mit Siliziumdioxid transferiert werden.

Der Transferstempel soll aus einer 150 mm großen quadratischen Glasplatte mit PDMS-Silikon bestehen. Das Silikon wurde geformt, um eine Reihe von Stiften auszubilden, die einer bestimmten Chipletgröße entsprechen. Das Array ist auf photolithographische Toleranzen ausgelegt.

Dazu werden folgende Materialien vom IHP bereitgestellt:

— 4 x 2 inch. Wafer mit InP (2.6 Müm) auf InAlAs (500 nm). Die InAlAs-Schicht dient als Opferschicht für den Transferprozess,

— 4 x 8 inch. Wafer mit Silziumdioxid (1 Müm) auf Silizium. Die Rauheit der Siliziumdioxidschicht ist kleiner 0,5 nm.

Folgende Randbedingungen sind einzuhalten:

— Größe der zu transferierenden Membranen ist 350 Müm x 50 Müm x 2.6 Müm,

— die Platziergenauigkeit muss +/- 1.5 Müm (3 sigma) betragen,

— es darf keine Vermittlungsschicht wie z.B. BCB zwischen InP und Siliziumdioxid verwendet werden.

Nach Abschluss der Evaluierung wird dem IHP eine Prozessbeschreibung mit mindestens folgenden Punkten an das IHP übergeben:

— Beschreibung des Strukturierungs- und Freilegungsprozesses,

— Beschreibung der Transferparameter (z. B. Geschwindigkeit),

— der Transferstempel,

— der mitgelieferte Transferstempel soll 560 Chips pro Zyklus mit einer ungefähren Lebensdauer von> 5 000 Zyklen übertragen können.

Los 2: Lieferung eines Micro-Transfer-Printers

Lieferung eines manuellen Micro-Transfer-Printers zum Transfer von Membranen mit Abmessungen unterhalb von 50 Müm x 50 Müm und einer Dicke von kleiner als 2 Müm.

Das Grundgehäuse enthält Elektronikkomponenten zur Steuerung und Sicherheit. Die Rack-Komponenten umfassen Motorantriebe und Verstärker für alle Achsen, eine Systemsteuerung (PC) und einen IO-Controller mit PLC-Integration. Die Bewegungssteuerung wird über den Bewegungs-Controller eingerichtet, der auf einem eigenständigen Echtzeit-Betriebssystem auf dem PC ausgeführt wird. Der PC und die notwendige Software sind im Lieferumfang enthalten.

Der Transferstempel besteht aus einer 150 mm großen quadratischen Glasplatte mit PDMS-Silikon. Das Silikon wurde geformt, um eine Reihe von Stiften auszubilden, die einer bestimmten Chipletgröße entsprechen. Das Array ist auf photolithographische Toleranzen ausgelegt. Ein Stempel ist im System enthalten und wird mitgeliefert. Der mitgelieferte Stempel soll 560 Chips pro Zyklus mit einer ungefähren Lebensdauer von> 5 000 Zyklen übertragen können.

Die X- und Y-Achse sollen aus einer kombinierten Plattform aus senkrechten linearen Servomotoren bestehen. Die Achsen der Z- und X-, Y- und Z-Optik sind manuelle Lineartische.

Theta X und Y sind Bestandteile eines im Transferdruckkopf integrierten Tip-Tilt-Mechanismus. Theta Z ist ein Goniometer-Tisch mit dem Druckkopf als Nutzlast. Das Theta Z und die Nutzlast sind auf der Z-Achse montiert.

Mindestens 2 Kameras sind im Lieferumfang enthalten. Eine Kamera mit geringer Vergrößerung wird für die grobe Waferregistrierung und -navigation verwendet. Eine weitere Kamera mit hoher Vergrößerung wird zur Ausrichtung und Druckbeobachtung verwendet.

Nach der Herstellung des Gerätes und der Installation vor Ort wird das Gerät qualifiziert. Das im Folgenden angegebene Material wird für die Qualifikation verwendet:

— Chiplet (coupon) Material: Siliziumnitrid,

— Chiplet (coupon) Dimensionen: 40 Müm x 40 Müm x 1.2 Müm,

— Gesamtanzahl der transferierten Chiplets in 20 Zyklen: 11 200 Chiplets (coupons),

— das Material auf dem die Chiplets transferiert werden soll aus Silizium bestehen,

— die Ausbeute soll 98 % betragen,

— die Präzision soll +/- 1.5 micron (3 sigma) betragen.

Die Lieferung beinhaltet eine Mustererkennungssoftware für das Alignment. Die Software beinhaltet ein kostenloses Update für 1 Jahr.

II.2.5)

Zuschlagskriterien

Die nachstehenden Kriterien

Preis

II.2.6)

Geschätzter Wert

II.2.7)

Laufzeit des Vertrags, der Rahmenvereinbarung oder des dynamischen Beschaffungssystems

Laufzeit in Monaten: 1

Dieser Auftrag kann verlängert werden: nein

II.2.10)

Angaben über Varianten/Alternativangebote

Varianten/Alternativangebote sind zulässig: nein

II.2.11)

Angaben zu Optionen

Optionen: nein

II.2.12)

Angaben zu elektronischen Katalogen

II.2.13)

Angaben zu Mitteln der Europäischen Union

Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm, das aus Mitteln der EU finanziert wird: nein

II.2.14)

Zusätzliche Angaben
- Forschungsgebäude, Laborgebäude
15 - Frankfurt(Oder), Eisenhüttenstadt, Fürstenwalde/Spree, Königs Wusterhausen
Öffentlicher Auftraggeber
Offenes Verfahren (VOL/A)
Kauf
DE: Deutschland
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