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Ausschreibung   Ausschreibung Region Freiburg im Breisgau, Lörrach, Titisee-Neustadt, Emmendingen für Laborgeräte

Ausschreibung Los-ID 1665127

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Evaporation System
Evaporation System
II.1.4)Kurze Beschreibung:
The aim of the announced evaporation system is to deposit thin dielectric layers (e.g. tantalum-oxide, titanium-oxide, magnesium-flouride, zink-sulfide...) on III-V wafers. The deposition of different layers with e-gun and thermal evaporation systems within one process (i.e. with-out interruption of the vacuum) is required. The system has to provide processing on wafers up to 6” and at least 8 Wafers of the size 4” need to be deposited within one run. The exact technical implementation has to be evaluated and discussed again with the supplier of the evaporator.


II.2)Beschreibung
II.2.1)Bezeichnung des Auftrags:
II.2.2)Weitere(r) CPV-Code(s)
II.2.3)Erfüllungsort
NUTS-Code: DE131
Hauptort der Ausführung:
79110 Freiburg.
II.2.4)Beschreibung der Beschaffung:
The aim of the announced evaporation system is to deposit thin dielectric layers (e.g. tantalum-oxide, titanium-oxide, magnesium-flouride, zink-sulfide...) on III-V wafers. The deposition of different layers with e-gun and thermal evaporation systems within one process (i.e. with-out interruption of the vacuum) is required. The system has to provide processing on wafers up to 6” and at least 8 Wafers of the size 4” need to be deposited within one run. The exact technical implementation has to be evaluated and discussed again with the supplier of the evaporator.
II.2.5)Zuschlagskriterien
Der Preis ist nicht das einzige Zuschlagskriterium; alle Kriterien sind nur in den Beschaffungsunterlagen aufgeführt
II.2.6)Geschätzter Wert
II.2.7)Laufzeit des Vertrags, der Rahmenvereinbarung oder des dynamischen Beschaffungssystems
Laufzeit in Monaten: 9
Dieser Auftrag kann verlängert werden: nein
II.2.10)Angaben über Varianten/Alternativangebote
Varianten/Alternativangebote sind zulässig: nein
II.2.11)Angaben zu Optionen
Optionen: nein
II.2.12)Angaben zu elektronischen Katalogen
II.2.13)Angaben zu Mitteln der Europäischen Union
Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm, das aus Mitteln der EU finanziert wird: nein
II.2.14)Zusätzliche Angaben
- Forschungsgebäude, Laborgebäude
79 - Freiburg im Breisgau, Lörrach, Titisee-Neustadt, Emmendingen
Öffentlicher Auftraggeber
Kauf
DE: Deutschland
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